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Hitachi

技術機関誌 SI NEWS日立ハイテクノロジーズ

このたび新型走査電子顕微鏡「FlexSEM 1000」を発売開始いたしました。

主な特長

  1. 高性能を維持しながらも、コンパクトな装置を実現。
    本体部分を分割して設置することも可能です。
    本体幅はわずか45 cmで、AC100V 3Pコンセントですぐに使えます。
  2. 観察しやすさを追求した新ユーザーインターフェースを搭載。
    (タッチパネルにも対応)
    明るさ・フォーカスのオート調整機能を高速化し、待ち時間を従来比 1/3に短縮しました*1
  3. 観察時の視野探しや試料上の位置把握をサポートするナビゲーション機能“SEM MAP”を開発。
    撮影したカメラ像やSEM像から、観察したい試料位置を素早く発見できます。
  4. 高感度の反射電子検出器を搭載。
    反射電子像での視野探しがより容易になりました。
*1
走査電子顕微鏡SU1510比
FlexSEM 1000

新ナビゲーション機能 “SEM MAP”

低倍カメラ像やSEM像をクリックすることで試料上を直接移動しているような操作感覚を実現します。
SEM MAP上で取り込んだ画像は自動で貼り付けられ、マップ表示されます。

新ナビゲーション機能 SEM MAPデータ

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