SOLUTION

「見る・測る・分析する」に「加工する」を加えたソリューションにより、半導体のお客様の量産に貢献

「電子線技術」を集約・強化し、「加工・検査・解析」装置を持つ唯一のメーカーとして多様な顧客ニーズに対応した半導体統合ソリューションを提供。
世界トップシェアの測長SEM、高精度な微細加工を実現したプラズマエッチング装置および欠陥検査装置など、半導体製造プロセスにおける加工・計測・検査工程をカバーする製品ラインアップを提供しています。

• 半導体製造装置
• 半導体計測・検査装置

• エッチング装置
• 測長SEM
• ウェーハ欠陥検査装置
• 高精度電子線計測システム