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電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000/TM4000Plus

卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000/TM4000Plus

卓上SEMは、次のステージへ。

もっと高画質に、もっと使いやすく、見やすく。
観察ニーズの"もっと"にお応えする最新テクノロジーを搭載したTM4000シリーズ。
卓上SEMの世界を広げ、さらなるイノベーション創出をお手伝いします。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    特長

    直感的な操作で目的データをレポート作成まで支援

    「試料の前処理を行わず、すぐに装置を起動し、手早く簡単に目的のデータを取得したい」そんな声にお応えするため、TM4000シリーズではあらゆる点を見直しました。最大80 mm径、厚さ50 mmの試料サイズに対応。装置内蔵の光学カメラ*により視野探しも容易です。
    試料を搭載してから画像取得までの時間は約3分。形状観察から元素分析*、レポート作成まで、従来のワークフローをより短縮化します。

    Camera Navi*を使えば、視野探しも簡単

    カメラ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート

    MAP機能で観察をサポート

    Report Createrで、手軽にレポート作成

    画像とテンプレートを選択するだけで、Word®、Excel®、Powerpoint®形式のレポートが完成。

    基本操作はこんなに簡単・スピーディ

    画像観察までわずか3分。
    目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。

    新設計の電子光学系によりさらに高画質を実現

    試料:セメント 5kV UVD

    オイルフリーの排気系によって場所を選ばず設置できる環境配慮型SEM

    オイルフリーポンプとフィラメントの中心合わせが不要なカートリッジフィラメントを採用

    *
    オプション

    仕様

    項目TM4000PlusTM4000
    倍率 ×10~×100,000(写真倍率)
    ×25~×250,000(モニター倍率)
    加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV
    画像信号 反射電子
    二次電子
    合成(反射電子+二次電子)
    反射電子
    真空モード 導電体(反射電子のみ)
    標準
    帯電軽減
    標準
    帯電軽減
    画像モード
    (反射電子)
    通常、影付1、影付2、凹凸
    試料可動範囲 X:40 mm Y:35 mm
    最大試料サイズ 80 mm(径) 50 mm(厚さ)
    電子銃 プリセンタードカートリッジタイプ
    タングステンヘアピンフィラメント
    検出器 反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
    二次電子:高感度低真空 二次電子検出器
    反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
    自動画像調整機能 オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
    保存画像サイズ 2,560×1,920 画素、1,280×960 画素、640×480 画素
    ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG
    データ表示 ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
    排気系
    (真空ポンプ)
    ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台
    ダイアフラムポンプ:20 L/min
    操作補助機能 ラスターローテーション、倍率プリセット(3段)
    イメージシフト(±50 µm @ WD6.0 mm)
    保護機能 過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
    大きさ・質量 本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(モータードライブステージ付)
    本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(マニュアルステージ付)
    ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm

    低真空検出器

    上位機種で搭載の高感度検出器を採用。励起光検出が可能となり、二次電子情報を持った画像を観察できます。

    低真空二次電子検出器の検出原理

    試料:機能性フィルム
    試料:機能性フィルム
    観察信号:二次電子
    倍率:1,000倍

    試料:散剤
    試料:散剤
    観察信号:二次電子
    倍率:3,000倍

    検出信号

    TM4000シリーズで観察できる画像は2種類あります。

    反射電子像:組成差をコントラストに反映
    二次電子像:試料表面の凹凸を反映

    従来は高真空雰囲気でのみ二次電子観察が可能でしたが、TM4000Plusは低真空雰囲気で二次電子観察が可能です。

    反射電子像

    付箋紙の反射電子像(倍率:500倍)
    試料:付箋紙
    倍率:500倍

    二次電子像

    付箋紙の二次電子像(倍率:500倍)

    観察例

    条件別

    一つのサンプルでも、評価のポイントはさまざま。電子ビーム条件(加速電圧)、検出信号を切り替えることで、評価目的に沿って画像を取得することが可能です。

    観察例

    加速電圧について

    TM4000シリーズでは、加速電圧を5 kV、10 kV、15 kVに設定し観察が可能です。
    加速電圧を変更した際に得られる像は以下の通りとなります。

    加速電圧について

    分野別

    材料分野

    生物分野

    化粧品/ヘルスケア分野

    食品分野

    環境分野

    元素分析*

    シンプル操作と大口経検出器でハイスループット分析を実現

    TMシリーズ専用エネルギー分散型X線分析装置 Aztecシリーズ

    (製造元:英国オックスフォード・インストゥルメンツ)

    こんなに簡単、EDX分析

    マッピング分析

    スペクトル分析

    ライン分析

    *
    オプション

    3次元計測*

    3次元像で高さ、粗さ測定

    *
    オプション

    技術機関誌 SI NEWS

    弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

    アプリケーションデータ

    SEMの測定例を紹介します。

    ナノアート

    電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

    日立電子顕微鏡の歩み

    年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

    田中SEM研究所通信

    電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。

    ミクロアイ

    日立のSEM、TEMで撮影した私たちの身の回りにいる生物、化粧品、繊維などの極微の世界をミクロ先生が紹介します。

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