原理: DFM(Dynamic Force Microscope)測定において、試料表面の吸着や粘弾性を反映しているカンチレバー振動の位相信号を表面形状像と同時に検出し、位相分布像を得ます。
吸着が小さい、表面が硬いといった場合、位相の遅れが小さくなります。また、吸着が大きい、表面が軟らかいといった場合、位相の遅れは大きく検出されます。
カンチレバーの位相遅れと表 面物性の関係
【位相モードの用途】
形状像
位相像
<参考資料>
<参考資料>