高分解能FEB測長装置 CS4800（HITACHI CD-SEM）

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CS4800 は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMで、当社がこれまで培った最先端の計測技術を搭載することにより、二次電子分解能および計測再現精度を向上しています^*1。また計測オペレーションを自動化することで、お客様の既存ラインの生産性向上に寄与します。さらに、簡易な切替え作業により、最大2種類のウェーハサイズの自動搬送が可能^*2であるとともに、炭化ケイ素（SiC）や窒素ガリウム（GaN）などさまざまな材質に対応し、多品種量産の半導体デバイス生産に貢献いたします。

*1

当社従来機比

*2

組合せによってはできない場合があります

取扱会社：株式会社 日立ハイテクノロジーズ