4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM
高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CS4800 は 4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEMで、当社がこれまで培った最先端の計測技術を搭載することにより、二次電子分解能および計測再現精度を向上しています*1。また計測オペレーションを自動化することで、お客様の既存ラインの生産性向上に寄与します。さらに、簡易な切替え作業により、最大2種類のウェーハサイズの自動搬送が可能*2であるとともに、炭化ケイ素(SiC)や窒素ガリウム(GaN)などさまざまな材質に対応し、多品種量産の半導体デバイス生産に貢献いたします。
取扱会社:株式会社 日立ハイテク
計測再現性 | 1nm(3σ)(当社標準ウェーハ・測定条件時) |
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対応ウェーハサイズ | 直径 100mm, 150mm, 200mm |
オートローダー | 2ポート |
装置寸法(本体部) | 1180(W)× 2500(D)× 1990(H)mm |