AFM (Atomic Force Microscope)
AFM(原子間力顕微鏡:Atomic Force Microscope)
AFM(原子間力顕微鏡)とは、カンチレバー先端の探針を試料表面に微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針・試料間の距離を制御しながら走査することで、表面形状を画像化するSPM(走査型プローブ顕微鏡)の一種。
【特徴】
◆絶縁性の試料も観察可能。
◆試料表面に接触して走査するため、様々な表面物性(摩擦力・粘弾性・導電性等) の評価に応用されている。