SSRM (Scanning Spread Resistance Microscope)
SSRM (走査型広がり抵抗顕微鏡：Scanning Spread Resistance Microscope)
SSRM（走査型広がり抵抗顕微鏡）では、試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をワイドレンジ対数アンプによって計測し、AFM（原子間力顕微鏡）形状像と同時に抵抗分布像を得る。半導体のドーパント濃度分布計測に有効。
SSRM（走査型広がり抵抗顕微鏡）では、試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をワイドレンジ対数アンプによって計測し、AFM（原子間力顕微鏡）形状像と同時に抵抗分布像を得る。半導体のドーパント濃度分布計測に有効。
