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SNDM (走査型非線形誘電率顕微鏡:Scanning Nonlinear Dielectric Microscope)

SNDM (走査型非線形誘電率顕微鏡:Scanning Nonlinear Dielectric Microscope)

SNDM(走査型非線形誘電率顕微鏡)モードでは、試料に交流電圧を印加して探針を走査し、誘電率変化(dC/dV)に起因するLC共振回路の周波数変化を検出し、AFM(原子間力顕微鏡)形状像と同時に誘電率分布を画像化する。強誘電体の分極状態や半導体ドーパント濃度等を観察する。

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