SPM (Scanning Probe Microscope)

SPM(走査型プローブ顕微鏡：Scanning Probe Microscope)

SPM（走査型プローブ顕微鏡）とは、試料表面に微小なプローブ(探針)を近づけて走査し、探針・試料間に働く物理量(トンネル電流、原子間力、摩擦力、磁気力等)を検出して、微小領域の表面形状観察および物性分析を行う顕微鏡の総称。代表的なSPMとして、STM(走査型トンネル顕微鏡)、AFM(原子間力顕微鏡)等がある。