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FFM Signal

FFM信号 (FFM Signal)

FFM信号とは、カンチレバーの横方向の変位(ねじれを検出)に対応した信号。光検出器の左右領域に入る光量に対応する信号の差分’[＝(A+C)-(B+D)]である(下図参照)。

光ヘッド部の構造（光てこ方式）
光ヘッド部の構造（光てこ方式）

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