スキャナ
スキャナ (Scanner)
スキャナとは、圧電素子を用いて、測定のために試料(あるいは探針)を走査させる機構。圧電素子の材料としては、セラミックスの一種であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)が一般に使用されている。
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