Creep

クリープ (Creep)

圧電素子は電荷を蓄えるコンデンサーと考えることができるため、その内部抵抗により一定電圧下でも圧電素子へのわずかな電荷の注入が続き、移動距離が変化し続ける(PZTの場合、膨張し続ける)。この特性をクリープと呼ぶ。圧電素子にPZTを使用しているSPM（走査型プローブ顕微鏡）のスキャナでは、クリープの影響として、アプローチ後のZ電圧のマイナス方向へのシフト、ポジション移動後の画角の中心からのシフト等が起こることがある。これらの現象は5～10分程度放置することでかなり抑えることができる。