SISモード

SISモード (Sampling Intelligent Scan Mode)

SISモードとは、測定ポイントのみ探針を接近させ、それ以外の時は探針を待避させ、試料形状に合わせて走査スピードを自在にコントロールするインテリジェントな形状測定モードのこと。DFM（ダイナミック・フォース・モード）を基本とし、データ取得時のみ探針と試料が接触し、それ以外は上空に退避しながら高速移動し、試料表面に接触しそうな場合には操作スピードを落として試料面から上昇するような退避動作を自動で行う走査方式。探針と試料の接触回数はDFMモードよりも大幅に少なくなり、探針の磨耗や試料へのダメージ、探針への異物付着による汚染を軽減し、繰り返し測定での測定精度が向上している。