Dynamic Force Mode/Microscope
DFM (ダイナミックフォースモード:Dynamic Force Mode/Microscope)
DFM(ダイナミックフォースモード)とは、共振させたカンチレバーの振動振幅が一定になるように探針・試料間の距離を制御しながら走査することにより、表面形状を画像化するSPM(走査型プローブ顕微鏡)の一種。
【特徴】
◆絶縁性の試料も観察可能。
◆帯電している試料、柔らかい試料、または吸着力の強い試料の測定に有利。
◆形状測定用の最も一般的な測定モード。