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走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）用語集 「あ行」～「わ行」

あ

圧電応答顕微鏡 （PRM)
圧電素子
位相測定 （フェーズモード）
AFM （原子間力顕微鏡）
AFM/電流同時測定
AFM/CITS
ADD信号
SISモード
STM/CITS
FFM信号
温度スウィープ
温度スウィープマッピング

か

片持ちバネ
カンチレバー
吸着力
クリープ
クローズドループ制御
原子間力顕微鏡 （AFM）
硬度測定 （ナノインデンテーション）

さ

磁気力顕微鏡 （MFM）
スキャナ
走査型近接場光学顕微鏡 （SNOM）
走査型近接場光学/原子間力顕微鏡 （SNOAM)
走査型トンネル顕微鏡 （STM)
走査型非線形誘電率顕微鏡 （SNDM)
走査型広がり抵抗顕微鏡 （SSRM)
走査型プローブ顕微鏡 （SPM)
粗動機構

た

ダイナミックフォースモード （DFM)
探針
チタン酸ジルコン酸鉛 （PZT)
チューブ型スキャナ
追従
DIF信号
電気化学AFM
電気化学STM
トンネル電流

な

ナノインデンテーション （硬度測定）

は

発振
光検出器 （フォトディテクタ）
光てこ方式
ヒステリシス
微動機構
表面電位顕微鏡/ケルビンプローブフォース顕微鏡 （KFM)
表面電位顕微鏡/マックスウェル応力顕微鏡 （SMM）
フェーズモード （位相測定）
フォースカーブ:AFM
フォースカーブ:DFM
プローブ
ベクタスキャン

ま

マイクロ粘弾性AFM （VE-AFM)
マイクロ粘弾性DFM （VE-DFM）
摩擦力顕微鏡

や

横振動摩擦力顕微鏡 （LM-FFM）

ら

ラスタスキャン
リニアライズ
レーザー光

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