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探針とは、試料表面を直接走査する部分。STM(走査型トンネル顕微鏡)ではプローブそのものを探針(STM探針)と呼ぶ。STM以外で使用するカンチレバーでは、その先端部に探針がある(下図・③)。
光ヘッド部の構造(光てこ方式)
日立ハイテク
日立ハイテクトップ