KFM (Kelvin Probe Force Microscope)

KFM (表面電位顕微鏡/ケルビンプローブフォース顕微鏡：Kelvin Probe Force Microscope)

KFM (表面電位顕微鏡/ケルビンプローブフォース顕微鏡）とは、ケルビン法を利用し表面電位分布を測定するSPM（走査型プローブ顕微鏡）の測定モードの一種。カンチレバーと試料の間に交流および直流の合成電界を作用させ、そのときの静電気力によるカンチレバー振動の応答から試料の微小量領域の表面電位を検出し画像化する。

【特徴】

◆DFMで測定するため動作の安定性が良い。
◆電性の試料、半導体試料、薄い絶縁膜等の表面電位の観察が可能。