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Cantilever

カンチレバー (Cantilever)

カンチレバーとは、探針を取り付けてある板ばねの部分を示す。STM(走査型トンネル顕微鏡)以外のSPM(走査型プローブ顕微鏡)で使用するプローブの通称。厳密には片持ちバネ部分(下図・①)のことを指すが、本体部分(下図・②)と片持ちバネを合わせた機構全体のことを指す場合もある。当サイト内では、片持ちバネ部分をカンチレバーと記載する。

光ヘッド部の構造(光てこ方式)

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