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Optical Lever Method

光てこ方式 (Optical Lever Method)

光てこ方式とは、カンチレバーの背面にレーザー光を照射し、反射光の位置の変化(光路の変化)を光検出器によって検出することにより、カンチレバーのたわみ量(DIF信号)やねじれ量(FFM信号)を捉える検出方法。カンチレバーを使用する(STM以外の)SPM(走査型プローブ顕微鏡)で一般に用いられている。この方式を用いた光ヘッド部の構造の模式図を以下示す。

光ヘッド部の構造(光てこ方式)
光ヘッド部の構造(光てこ方式)

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