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Fine Positioning Mechanism

微動機構 (Fine Positioning Mechanism)

微動機構とは、SPM（走査型プローブ顕微鏡）において、測定のために試料(あるいは探針)を走査させる機構。PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いた圧電素子を組み込んだスキャナが一般的である。

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