Fine Positioning Mechanism
微動機構 (Fine Positioning Mechanism)
微動機構とは、SPM(走査型プローブ顕微鏡)において、測定のために試料(あるいは探針)を走査させる機構。PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いた圧電素子を組み込んだスキャナが一般的である。
微動機構とは、SPM(走査型プローブ顕微鏡)において、測定のために試料(あるいは探針)を走査させる機構。PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)を用いた圧電素子を組み込んだスキャナが一般的である。