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日立ハイテク
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LCDカラーフィルター

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株式会社日立ハイテクサイエンス
ジャンル 半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード AFM
測定領域 400×400µm
ステーション ナノピクス
装置 ナノピクス

解説

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Fig.1 フィルター境目の段差解析結果

ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。走査型プローブ 顕微鏡としては類を見ミない800×800μmまでの広域観察が可能なため、RGBのLCDカラーフィルターのような形状 も1画面で捉え、段差などの解析を行うことができます。 この図は解析プログラムでフィルター境目の段差を評価した事例です。

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