Sn-Cuめっき
| ジャンル | 半導体・エレクトロニクス, 無機材料 |
|---|---|
| モード | DFM |
| 測定領域 | 10 x 10µm |
| ステーション | ナノピクス |
| 装置 | ナノピクス |
解説
ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。光学顕微鏡などで観察できる 範囲から、徐々に観察範囲を絞り、微細部の形状・粗さの評価を行うことが可能です。
