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Sn-Cuめっき

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株式会社日立ハイテクサイエンス
ジャンル 半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード DFM
測定領域 10 x 10µm
ステーション ナノピクス
装置 ナノピクス

解説

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Fig.1 SN-Cuめっき表面の観察

ナノピクスは、自己検知カンチレバーと除振機構内蔵の観察ヘッドにより、操作性を向上した卓上小型のSPMです。光学顕微鏡などで観察できる 範囲から、徐々に観察範囲を絞り、微細部の形状・粗さの評価を行うことが可能です。

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