ITO薄膜表面観察と粗さ評価

ジャンル	無機材料
モード	DFM
測定領域	2µm
ステーション	NanoNaviⅡ
装置	Nanocute

解説

Fig.1 ITO薄膜表面

SPMは非常に鋭利な先端の探針を使用しているためナノレベルの凹凸での高精度な表面粗さ評価が可能です。

ここでは、ディスプレイ等の透明電極に使用されているITO薄膜表面凹凸の観察と粗さ評価の結果についてご紹介します。

Fig.1は、ITO薄膜表面のDFM形状像(a)、断面プロファイル(b)、JISB0601に準拠した粗さパラメータ（ｃ)です。表面粗さは2.21nm、最大高さ24.6nmと計測されました。近年、ナノスケールにおける表面粗さのJIS規格が制定されましたが、この事例のように、ナノレベルの平滑面を品質管理するのに最適です。

日立ハイテクサイエンスでは、いち早くこの手法をシステムに組み込んでいます。