アルミ薄膜表面観察と粗さ評価
| ジャンル | 半導体・エレクトロニクス |
|---|---|
| モード | DFM |
| 測定領域 | 20µm |
| ステーション | NanoNaviⅡ |
| 装置 | Nanocute |
解説
Fig.1 アルミ薄膜表面
SPMは非常に鋭利な先端の探針を使用しているためナノレベルの凹凸での高精度な表面粗さ評価が可能です。
ここでは、Siウェハ上にスパッタリングにより成膜したアルミ（Al）薄膜表面の凹凸観察と粗さ評価の結果についてご紹介します。
Fig.1は、アルミ（Al）薄膜表面のDFM形状像(a)、断面プロファイル(b)、JISB0601に準拠した粗さパラメータ（ｃ)です。 表面粗さは4.95nm、最大高さ162.1nmと計測されました。
近年、ナノスケールにおける表面粗さのJIS規格が制定されましたが、この事例のように、ナノレベルの平滑面を品質管理するのに最適です。日立ハイテクサイエンスでは、いち早くこの手法をシステムに組み込んでいます。
