GMRヘッドのMFM観察（２）

ジャンル	ストレージ, マグネティックス
モード	MFM
測定領域	10µm
ステーション	AFM5000
装置	AFM5400L

解説

MFMは試料表面の漏れ磁界分布を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）のひとつです。磁性コート探針と磁性体試料に作用する磁気力（勾配）を画像化しています。従来からある磁区観察法に比べて、大気中で高分解能な磁区観察を、試料の表面形状観察と同時に行えるのが特徴です。磁気ヘッド等の測定では、記録ポールやシールド層などの磁性体部分が明るく、非磁性部分が暗く表示されます。磁性体部分には幾何学的な模様（磁区）が観察されています。また材質によって、磁気力勾配に差があることもわかります。

Fig.1a はGMRヘッドの表面形状像です。Fig.1b は同時測定したMFM像です。Fig.2 は AFM5000の機能<形状像と物性像の重ね合わせ>を使った画像です。形状の特徴と磁気特性を1つの画像で見ることができるようになりました。

磁気ヘッドの評価には、ここでご紹介したMFM以外にも、Conductive AFM（電流同時AFM)が有効です。この手法では、最表面のDLC層を介して、金属磁性層からの微小電流を計測、マッピング可能です。