レンズ表面コートの観察と粗さ評価
| ジャンル | 無機材料 |
|---|---|
| モード | DFM |
| 測定領域 | 10µm |
| ステーション | NanoNaviⅡ |
| 装置 | Nanocute |
解説
Fig.1 レンズ表面（蒸着処理）
Fig.2 レンズ表面（表面コート）
SPMは非常に鋭利な先端の探針を使用しているためナノレベルの凹凸での高精度な表面粗さ評価が可能です。
ここでは、表面コートの異なるレンズ表面凹凸の観察と粗さ評価の結果についてご紹介します。
Fig.1はレンズ表面に下地膜を蒸着したもの、Fig.2はその上に表面コート膜をつけたもののDFM形状像(a)、断面プロファイル(b)、JISB0601に準拠した粗さパラメータ（ｃ)です。下地処理を施したレンズの表面粗さは1.05nmであるのに対し、表面コートしたレンズの表面粗さは1.46nmと若干粗さが大きくなっています。
近年、ナノスケールにおける表面粗さのJIS規格が制定されましたが、この事例のように、ナノレベルの平滑面を品質管理するのに最適です。日立ハイテクサイエンスでは、いち早くこの手法をシステムに組み込んでいます。
