水晶振動子電極部膜厚/めっき表面粗さ

ジャンル	半導体・エレクトロニクス, 無機材料
モード	AFM
測定領域	400×400µm
ステーション	ナノピクス
装置	ナノピクス

解説

ナノピクスによる水晶振動子金電極膜厚と電極面粗さ評価の事例を紹介します。Fig.1は、水晶振動子金電極の80μmの観察結果と、そこからズームして観察した3μmでの表面形状像です。Fig.2はJISB0601に準拠した段差解析、粗さ解析の結果です。膜厚は一般のプロファイラー同様に上面・底面各2点間の平均値から算出しています。このグラフでは、電極部膜厚：75nm、粗さパラメータ：Ra:3.85nm、RMS:3.85nmという結果が得られています。