水晶ウェハ表面観察と粗さ評価
| ジャンル | 無機材料 |
|---|---|
| モード | DFM |
| 測定領域 | 20µm |
| ステーション | NanoNaviⅡ |
| 装置 | Nanocute |
解説
Fig.1 水晶ウェハ表面（研磨仕上げ）
Fig.2 水晶ウェハ表面（蒸着処理）
SPMは非常に鋭利な先端の探針を使用しているためナノレベルの凹凸での高精度な表面粗さ評価が可能です。
ここでは、表面処理の違いによる水晶ウェハ表面凹凸の観察と粗さ評価の結果についてご紹介します。
Fig.1，2は、研磨仕上げと、化学エッチング仕上げによる水晶ウエハ表面のDFM形状像(a)、断面プロファイル(b)、JISB0601に準拠した粗さパラメータ（ｃ)です。 研磨仕上げの表面粗さは61.05nmであるのに対し、化学エッジング仕上げの表面粗さは0.49nmと桁違いに小さく、ナノレベルで平滑になっています。
近年、ナノスケールにおける表面粗さのJIS規格が制定されましたが、この事例のように、ナノレベルの平滑面を品質管理するのに最適です。日立ハイテクサイエンスでは、いち早くこの手法をシステムに組み込んでいます。
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