GMRヘッドのMFM観察
| ジャンル | ストレージ, マグネティックス |
|---|---|
| モード | MFM |
| 測定領域 | 約9µm |
| ステーション | AFM5000 |
| 装置 | AFM5400L |
解説
MFMは試料表面の漏れ磁界分布を画像化するSPM（走査型プローブ顕微鏡）のひとつです。磁性コート探針と磁性体試料に作用する磁気力（勾配） を画像化しています。従来からある磁区観察法に比べて、大気中で高分解能な磁区観察を、試料の表面形状観察と同時に行えるのが特徴です。Fig.1のような 磁気ヘッド等の測定では、記録ポールやシールド層などの磁性体部分が明るく、非磁性部分が暗く表示されます。磁性体部分には縞状あるいは幾何学的な模様 （磁区）が観察されています。 Fig.2はAFM5000の機能<形状像と物性像の重ね合わせ> を使った画像です。形状の特徴と磁気特性を1つの画像で見ることができるようになりました。
引用文献：
