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GMRヘッドのMFM観察

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株式会社日立ハイテクサイエンス
ジャンル ストレージ, マグネティックス
モード MFM
測定領域 約9µm
ステーション AFM5000
装置 AFM5400L

解説

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MFMは試料表面の漏れ磁界分布を画像化するSPM(走査型プローブ顕微鏡)のひとつです。磁性コート探針と磁性体試料に作用する磁気力(勾配) を画像化しています。従来からある磁区観察法に比べて、大気中で高分解能な磁区観察を、試料の表面形状観察と同時に行えるのが特徴です。Fig.1のような 磁気ヘッド等の測定では、記録ポールやシールド層などの磁性体部分が明るく、非磁性部分が暗く表示されます。磁性体部分には縞状あるいは幾何学的な模様 (磁区)が観察されています。 Fig.2はAFM5000の機能<形状像と物性像の重ね合わせ> を使った画像です。形状の特徴と磁気特性を1つの画像で見ることができるようになりました。

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