2010年度のサービス業務プロセス改革により、保守メニューの提案、受注フォローと契約締結を目的に(旧)半導体製造装置部、 (旧)半導体評価装置部にサービスコーディネータ担当が配置された。
2014年度に、両部門内にコーディネータグループが組織化された。その後2021年度には、両部門内のコーディネータグループを統合し、ナノテクノロジーサービス本部直下の組織となった。
2024年度、国内顧客の投資が活発化している状況に対応できる強い組織を構築するため、本部直下のコーディネータグループと本部の事業管理機能を統合し、カスタマーサクセス部が新設された。

日本国内で稼動している日立ハイテク製半導体製造装置・評価装置の多くが長期稼動となっており、お客様からは既納装置の更なる延命稼動の要望を受けている。それに応えるため、PS事故撲滅メニューや製造中止部品に対する代替部品、稼動年数に応じた装置維持サポート契約などの提案を推進し、お客様のニーズに応えてきた。
一方、日本政府による半導体産業基盤育成の戦略もあり、海外半導体製造会社の日本国内への誘致や国内半導体製造会社設立などを背景に、最新装置の比率が増えている。そのため、保守対応期間内のサービス提案が重要となっており、装置データ分析による予知・予兆診断をもとにしたコンディションベースの保守提案や、お客様の生産性向上に繋がる総合保守提案に取り組む必要がある。これらの実現に向け、日立ハイテクと連携したサービス戦略の立案と推進を図っていく。